单晶硅对石英坩埚的要求
没有接触过石英坩埚的人不了解单晶硅的作用,下面我们将介绍单晶硅对石英坩埚的具体要求:
石英坩埚的几何尺寸和外观取决于生产工艺,而纯度则由原材料决定。石英坩埚原材料要求纯度高、一致性好、粒度分布均匀。只有原材料质量好,生产的石英坩埚的质量才能得到保证。
有害成分含量高时,会影响石英坩埚,的融化其耐温性,出现气泡、污渍、脱皮等现象,严重影响石英坩埚的品质有害元素总含量高,会出现气泡、白点等缺陷,导致石英坩埚透明度下降
石英坩埚是拉制单晶硅的消耗容器,每生产一炉单晶硅,就消耗一炉。因为单晶硅是生产大规模集成电路的原材料,所以对石英坩埚的要求比较严格。