在完成石英坩埚的生产后需要对其进行非常严格的检查工作,这是为了避免所生产的坩埚存在问题而无法使用。而在对坩埚进行检查时,需要严格按照正确的操作流程进行,不然很可能导致漏查的现象发生。下面大家一起来了解一下其正确的检查流程是如何进行的。
检查环境:1000级净空房,温度、湿度、压差等需有严格控制。
检查工具:LED可充式手提灯、检查台灯。
检查前准备:穿戴好防护配套装备。
检查流程:
一:石英坩埚干燥完成后,检查坩埚的外表面是否有异物或者裂纹、开口的气泡等情况,
二:检查坩埚端口是否有缺口、异物、刀痕、边距不良等。
三:仔细检查坩埚内表面。
1、用台灯照射坩埚内表面,仔细检查内壁、内底部,确认是否有气泡、黑点、白点、划痕、异物、附着物等。
2、用LED手提灯垂直照射石英坩埚内壁,慢慢转动坩埚,仔细检查是否有遗漏未检测到的缺陷等。
四:检查结束,判定合格后使用PE膜、PE袋真空包装。
因此为了保障石英坩埚检查结果的准确性,所需要的检查环境、检查工具等等都要做好详细的检查,避免所需环境和工具存在问题而影响到坩埚的检查结果。同时在检查完毕后对坩埚进行包装时更要仔细小心,避免包装错误而对坩埚造成损坏。