1、装料挤压。装料过程中,硅料之间特别注意需要留有一定空隙,一般以2cm以上,一旦装料过挤,可能引发溢流产生。这是因为硅料熔化从中上部开始,一旦装料过于拥挤,液体硅流到坩埚底部以后可能会因温度过冷而凝固,如果没有空间供其膨胀,会对坩埚壁产生挤压作用,导致石英坩埚破裂溢流。
2、坩埚隐裂。用来盛放硅锭的坩埚为石英陶瓷材料,其制作方式有注浆成型和注凝成型两种方式,但不论哪种方式制作的坩埚,都会存在隐裂,气孔等缺陷,这些石英坩埚在出厂以前一般都会经历两道以上的采用显影液透光检查过程,但仍可能会有漏检的坩埚,另外坩埚在运输过程中或搬运过程中会遇到震动或磕碰,如果这些缺陷在装料前没有检测到,很有可能在熔化过程中出现硅液溢流现象。