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导致石英坩埚硅液溢流的原因

点击次数:   更新时间:21/05/28 17:34:05     来源:www.skwebsol.com关闭分    享:
  石英坩埚在使用的过程中可能会因为不正确的操作步骤,导致坩埚的硅液溢流情况,究竟是因为生产过程中哪些具体的操作步骤引起的呢?下面我们一起来看下:

  1、装料挤压。装料过程中,硅料之间特别注意需要留有一定空隙,一般以2cm以上,一旦装料过挤,可能引发溢流产生。这是因为硅料熔化从中上部开始,一旦装料过于拥挤,液体硅流到坩埚底部以后可能会因温度过冷而凝固,如果没有空间供其膨胀,会对坩埚壁产生挤压作用,导致石英坩埚破裂溢流。

石英坩埚

  2、坩埚隐裂。用来盛放硅锭的坩埚为石英陶瓷材料,其制作方式有注浆成型和注凝成型两种方式,但不论哪种方式制作的坩埚,都会存在隐裂,气孔等缺陷,这些石英坩埚在出厂以前一般都会经历两道以上的采用显影液透光检查过程,但仍可能会有漏检的坩埚,另外坩埚在运输过程中或搬运过程中会遇到震动或磕碰,如果这些缺陷在装料前没有检测到,很有可能在熔化过程中出现硅液溢流现象。
  3、工艺参数不合理。铸锭工艺过程中,在加热及熔化初期,热场内部温度纵向梯度相对较大,坩埚中下部温度很长一段时间较低。而石英坩埚陶瓷材料在1300℃以上晶相转化速率较快,过高的加热功率或升温速度会导致坩埚在纵向上晶相转化速度相差较大,坩埚壁产生较大应力,长时间拉伸作用容易产生裂纹,从而引发溢流。
  通过上面的介绍大家可以了解到导致石英坩埚硅液溢流的原因及解决方法,大家可以简单的了解下。