石英坩埚对晶体氧含量的影响
石英坩埚是一种耐温性强、纯度高的器皿,在我们的生活中应用广泛。拉单晶时有很好的效果。但是很多人不太了解产品晶体中氧含量的影响。接下来,让我们了解一下:
1、单晶中氧的主要来源
虽然坩埚的熔点高于硅料的熔点,但熔融的液态硅在高温下会腐蚀坩埚,导致少量氧气进入晶体。在硅的熔点附近(1420,硅用坩埚作用,溶解,生成SIO并进入硅溶液。然后一氧化硅通过机械对流、热对流等转移到熔体表面。所以到达硅熔体表面的一氧化硅以气体的形式挥发,而剩下的一部分一氧化硅溶解在液态硅中,然后以氧原子的形式进入晶体,从而影响单晶的氧含量。
2、坩埚防止释放氧含量的措施
氧气主要来自石英坩埚,因此如何减少坩埚中氧气的释放是降低单晶氧含量的重要手段,产品质量直接关系到释放物的释放程度。实际上,坩埚中氧气的释放过程就是坩埚的气泡层穿透透明层将氧气释放到硅液中的过程,在坩埚内层烧结一层约3-5mm的透明层,从而保证坩埚内表面的纯净度,防止坩埚软化点过低。因此,坩埚透明层的质量决定了坩埚气泡的释放程度。
以上是小编与您分享的关于石英坩埚对晶体中氧含量的影响。分别介绍了单晶中氧的来源和坩埚防止氧含量释放的措施。希望可以帮助你更顺利的使用石英坩埚。